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內容簡介
在邁入二十一世紀的過程中，創新的奈米科技成為新世紀的各產業驅動力。隨著人們對奈米科技研究經費與技術人力的投入，掩蓋在『奈米』這名詞的面紗被一一揭開，奈米科技的研究與應用逐漸的由基礎科學層面向外擴展，最初的成果是各式新效能的奈米材料的開發。在此同時當半導體產業持續追求更小、更快、更高效能的元件技術，奈米科技逐漸被導入半導體製造技術，藉以提高元件效率或是開創出全新的微電子元件技術，將半導體產業由次微米時代推向下一世代的『奈米電子時代』。
奈米世代中，各種介紹奈米科技的書籍如雨後春筍般的出現，但是大多是針對各種奈米科技作廣泛、初步的簡介，或是只針對單一技術項目作分析。對於有志於下世代微電子技術開發的研究人員以及學生來說，缺乏一本專門針對奈米電子的各項前瞻性技術綜合、深入的介紹。
奈米店子學內容涵蓋全新的物理、材料、相關技術整合於微電子製作技術。包含先進奈米級CMOS製程技術、前瞻奈米記憶體技術、以及引進全新材料、製程的新穎性奈米電子元件技術。希望對有志於從事微電子與奈米電子相關產業與研發的工程師，提供一本深入淺出的教材，藉以獲得相關的背景知識。同時本書也適用於各大專院校電子、電機科系作為奈米電子課程的輔助教材。
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